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PE25实验室等离子清洗机

PE-25是专门针对于大学/科研机构研发的小批量样品处理装置,具有移动方便、多种配置功能、高性能及稳定性、操作方便的特点。

美国产Plasma CleaningSystem
PE-25台式实验室等离子表面处理机



PE-25小型等离子表面处理设备是专门针对于大学,研究机构和工厂研发机构设计的小批量样品处理装置.作为有针对的设计,突出移动方便,多种配置功能和高性能以及稳定性,操作方便的使用特性。

设备特点:


1.体积小,(宽356mm*高368mm*深457mm),可放置在任何实验台上。

2.性能可靠,“肚量”宽大。真空腔体采用T6061航空铝合金材料无缝焊接,电极面积达到89mm*170mm,腔体与电极之间的间隙可到53mm,样品放置空间大。

3.配置灵活,可配置不同的频率及功率:50KHz,13.56MHz;控制系统可选择了PLC微电脑控制和更精准的全数字电脑控制,以满足不同用户的要求。

4.操作简便,一般操作人员在极短的时间内就可以熟练操作,甚至只需要几分钟就可掌握。

5. 安全保障:在小型设备中,引入一键急停保护按钮,可以快速终止实验,以最小程度降低因操作失误而造成对样品的损害。







外部尺寸 356mm*368mm*457mm
真空腔材质 6061T6铝合金真空腔
真空腔尺寸 127mm*203mm
电极尺寸 89*178mm,间隙63mm
等离子发生器 功率max.400w(可调)
频率:50KHz(可选配13.56MHz)
供气 气体流量控制器0-25cc/minw/精密针形阀
压力测量 热电偶真空计0-1Torr
控制器 PLC微电脑控制系统。
安全保障 一键急停按钮
电源 220VAC,14A

附件(可选件)

抽气装置:推荐型号:5CFM 2级直驱真空油泵
•氧气发生器
•附加第二气体通道。附加第二气体控制器,0-25cc/min
•50KHz/400w可调节射频发生器,13.56MHz/125W/300W可调节射频发生器自动阻抗匹配网络电源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
•接枝设备


高级配置:

•PC/笔记本电脑的控制系统:基于Windows操作系统,装有等Plasma Etch操作软件的笔记本电脑,包括全自动系统操作,流程排序,多配方存储,以及其他高级功能。
•质量流量控制器:附加质量流量控制器也可提供。
•气流减压装置。





样品处理实例(碳化钨基底上的DLC涂层去除)




 
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