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PE-100等离子表面处理机

鬼谷子论坛481111-鬼谷子神算67850-13868鬼谷子论坛PE-100等离子表面处理系统是一款集综合功能于一身的重量级产品。既可以应用于大学,科学研究机构,又能在工业级应用领域针对于小批量生产发挥强大作用。

美国产PE-100实验室等离子表面处理机
 

    PE-100等离子表面处理系统是一款集综合功能于一身的重量级产品。既可以应用于大学,科学研究机构,又能在工业级应用领域针对于小批量生产发挥强大作用。

产品特点:


1.体积小,卧式设计,可放置在实验台上或小推车上,方便灵活的移动。

2.性能可靠,“度量”宽大。真空腔体采用T6061航空铝合金材料无缝焊接,有效处理面积达到约229mm*330mm.间距76mm(3层电极)可以轻松将大部分实验样品放入真空腔体内并实现小批量生产。

3.配置灵活PE-100可配置不同的频率及功率:100-460KHz/13.56MHz还提供不同的功率以供用户选择。在控制系统上,可选择PLC微电脑控制或更精准的全数字电脑控制,以满足不同用户的要求。

4.可以配置过程控制的温控电极与RIE反应性等离子体处理系统。

5. 操作简便,一般操作人员在极短的时间内就可以熟练操作,甚至只需要几分钟就可掌握。

6.安全保障:在小型设备中,引入一键急停保护按钮,可以快速终止实验,以最小程度降低因操作失误而造成对样品的损害。







外部尺寸 432mm*711mm*762mm重量:73Kg
真空腔材质 耐用的焊接6061T6铝合金真空腔
真空腔尺寸 约305mm宽*356mm深*305mm高
电极尺寸 约229mm*330mm.间距76mm(3层电极)
等离子发生器 300W@100-460KHz(可选配13.56MHz
供气 质量流量控制器:O-50cc(连续可调)
压力测量 Pirini真空计:0-1Torr
控制器 基于WINDOWS操作系统的控制系统
安全保障 一键急停按钮
电源 220VAC,14A


附件(可选件)

抽气装置:推荐型号:6.5CFM  2级直驱真空油泵
300w/13.56Mhz可自动调节射频发生器
一层电极
温控电极
RIE反应性电极
可控速率氮气自动吹扫装置
静电屏蔽装置





样品处理实例:LED灯基片  处理前后对比






 
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